Neuer UV-empfindlicher Sensor von Sony

Sony hat einen UV-Wellenlängen-kompatiblen CMOS Bildsensor mit hoher Geschwindigkeit und hervorragender Abbildungsleistung vorgestellt.

Sony Sensor IMX487

Der Sensor mit der Bezeichnung IMX487 soll zu höherer industrieller Produktivität und zur Bereitstellung neuer Lösungen beitragen. Der für Industrieanlagen entwickelte Sensor ist mit dem Wellenlängenbereich von ultraviolettem Licht kompatibel, bietet eine Global-Shutter-Funktion und weist die branchenweit höchste effektive Pixelzahl von ca. 8,13 Megapixeln auf.

Dank Komponenten, die auf den UV-Wellenlängenbereich spezialisiert sind, und einer einzigartigen Struktur der Lichtaufnahmeeinheit gewährleistet das neue Produkt hohe UV-Empfindlichkeit und ausgezeichnete Bildqualität mit minimalem Rauschen. Zudem fangen die Pixel das UV-Licht hocheffizient ein: Dies trägt zur hohen UV-Empfindlichkeit bei und führt zu einem kompakten Formfaktor und hoher Auflösung, ermöglicht durch die branchenweit kleinsten, nur 2,74 µm großen quadratischen Pixel.

Der Sensor nutzt die Pregius S Global-Shutter-Technologie von Sony, bei der eine einzigartige, rückseitig belichtete Pixelstruktur auf einem gestapelten CMOS Bildsensor für eine verzerrungsfreie Abbildung und hohe Geschwindigkeit sorgt.

Für eine Vielzahl von Anwendungen

Sony geht davon aus, dass der neue Sensor für eine Vielzahl von Anwendungen eingesetzt werden kann, unter anderem zur Defekterkennung in Halbleitermustern im bestehenden UV-Kameramarkt. Damit kann der IMX487 zur Steigerung der Produktivität von Fertigungsprozessen und zur Lösung industrieller Aufgabenstellungen beitragen.

Sony Sensor IMX487 Beispielanwendung

Das auf den Untergrund aufgetragene transparente Schutzharz (durchgezogene Linie) ist bei sichtbarem Licht nicht zu sehen; bei UV-Licht erscheint es dagegen schwarz. Der unbeschichtete Bereich (gestrichelte Linie) erscheint auch unter UV-Licht nicht schwarz. (l: sichtbares Licht, r: UV-Licht)

Generell ermöglichen UV-Kameras, Materialien zu sortieren, bei denen dies in sichtbarem Licht schwierig wäre, sowie die Oberflächenüberprüfung von Gegenständen auf winzigste Kratzer und andere Defekte. Herkömmlicherweise werden solche Kameras zur Fehlerprüfung von Halbleitermustern eingesetzt. Damit die Einsatzmöglichkeiten künftig erweitert werden können, wird ein Bildsensor benötigt, der nicht nur Empfindlichkeit im UV-Wellenlängenbereich bietet, sondern auch eine hohe Auflösung, geringes Rauschen und hohe Geschwindigkeit.

Neben konventionellen UV-Bildsensor-Anwendungen, wie etwa der Defektprüfung von Halbleitermustern, lässt sich das neue Produkt zur Lösung einer Vielzahl industrieller Aufgabenstellungen einsetzen. Dazu zählen beispielsweise UV-Licht-basiertes Sortieren von Kunststoffen und anderen Materialien in Recyclinganlagen; die Inspektion des Applikationszustands durchsichtiger Harze; die Oberflächenprüfung von Bauteilen auf winzige Kratzer; und die Erkennung von UV-Licht, das durch Entladungen in maroden Freileitungen austritt.

Neuartiges Design

Bei dem neuen Produkt sind die Komponenten, an denen das Licht eintritt, aus Materialien mit hoher UV-Durchlässigkeit gefertigt, und die Lichtaufnahmeeinheit ist auf einzigartige Weise strukturiert. Dieses Design gewährleistet eine hohe UV-Empfindlichkeit und hohe Bildqualität mit deutlich reduziertem Rauschen. Darüber hinaus bietet der neue Sensor dank der effizienteren Verdrahtung, die durch die rückseitig beleuchtete Pixelstruktur ermöglicht wird, eine hohe Geschwindigkeit von 193 Bildern pro Sekunde (im 10-Bit-Modus).

UV-Wellenlängen sind kürzer als die des sichtbaren Lichts (400-780 nm) und liegen im Allgemeinen zwischen 10 und 400 nm. Das neue Produkt ist mit dem UV-Bereich 200 bis 400 nm kompatibel, der für industrielle Inspektionsaufgaben am besten geeignet ist.

Mehr Informationen zu diesen Produkten gibt es (auf Englisch) hier.